マテリアル インテグレーション 1999年7月号
特集 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性

巻頭言

強誘電体薄膜の合成とデバイス開発の現状
八戸工業大学工学部 増田 陽一郎

YAGレーザーアブレーション法による強誘電体薄膜の作製と焦電特性
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究所 西田 貴司 八戸工業大学 藤田 成隆、増田 陽一郎

MOCVD法による強誘電体PZT薄膜の合成とその物性
姫路工業大学工学部 清水 勝、 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科  岡村 総一郎、塩嵜 忠

不揮発性メモリー用強誘電体薄膜の分極特性に及ぼす空間電荷の影響
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科  塩嵜 忠、岡村 総一郎

電子線誘起反応を用いた強誘電体薄膜の微細加工プロセス
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科  岡村 総一郎、塩嵜 忠

ビスマス層状構造強誘電体薄膜の合成と物性
東京理科大学理学部 応用物理学科 塚本 桓世、安藤 静敏

LB法によるチタン酸鉛薄膜の合成とその物性
(財)電気磁気材料研究所 菅井 弘、東北工業技術研究所 飯島 高志、東北大学金属材料研究所 増本 博

ECRスパッタ法による強誘電体薄膜(BIT,BNN)の合成とその物性
東北大学金属材料研究所 増本 博、平井 敏雄、名古屋工業技術研究所 渡津 章、八戸工業大学電気工学科 増田 陽一郎

研究速報酵素固定化樹脂
日本大学生産工学部工業化学科 山田 和典、平田 光男、日本大学生産工学研究科工業化学専攻 中曽根 寿明、永野 亮一

LSCO酸化物電極の合成とその物性
東北大学金属材料研究所 増本 博、平井 敏雄、名古屋工業技術研究所 渡津 章、八戸工業大学電気工学科 増田 陽一郎利

連載特集セラミックス開発の新兵器:TG-MS [2]環境適合材料(エコマテリアル)の熱特性、ウッドセラミックスTG-MS分析
理学電機(株) 熱分析事業部 有井 忠、桃田 道彦

解説電気光学、非線型光学結晶
富山県立大学工学部 安達 正則

研究速報繊維状アパタイトによる細胞培養用多孔質シートの作製
上智大学理工学部化学科 相澤 守、板谷 清司、理工学研究科応用化学専攻 上野 宏子